MS測量顯微鏡在IC芯片引腳缺陷檢測應(yīng)用

更新時(shí)間：2023-12-13 點(diǎn)擊次數(shù)：3223

在芯片制造過程中，芯片引腳扮演著連接內(nèi)部電路與外部電路的重要角色，相當(dāng)于芯片的接口。然而在芯片制造過程中，如果引腳出現(xiàn)缺失、破損、偏斜或不平整，容易導(dǎo)致后續(xù)貼片焊接時(shí)出現(xiàn)虛焊、虛接或漏接的問題，進(jìn)而影響芯片的可靠性。

芯片引腳缺陷檢測通常涉及測量和評(píng)估多個(gè)指標(biāo)，如檢測引腳外觀、測量引腳寬度、高度差等，通過綜合評(píng)估這些參數(shù)，能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)潛在的問題并提供預(yù)警，以確保芯片制造的質(zhì)量和可靠性。

如何在芯片快速傳輸?shù)倪^程中，高效準(zhǔn)確地對(duì)引腳缺陷進(jìn)行非接觸式測量分析，是芯片廠商亟待解決的問題。

SOPTOPMS測量顯微鏡結(jié)合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的X、Y、Z軸表面尺寸測量功能，采用0.1μm高精度3軸測量系統(tǒng)，可精確監(jiān)控引腳之間的間距、高度、長度等，驗(yàn)證抽檢樣品是否符合設(shè)計(jì)要求。

引腳外觀和形狀

檢查引腳的外觀，確保沒有損壞、變形或其他表面缺陷，這些問題可能會(huì)影響引腳的功能性和可靠性。

引腳位置和對(duì)齊

測量引腳位置和對(duì)齊，評(píng)估引腳之間的間距和間隙，確保它們符合設(shè)計(jì)規(guī)范，不正確的位置或?qū)R可能導(dǎo)致連接不良或損壞。

焊點(diǎn)完整性

評(píng)估焊點(diǎn)的完整性，包括焊料的均勻性、潤濕性和穩(wěn)定性。良好的焊點(diǎn)確保引腳與主板或其他元件之間可靠連接。

隨著先進(jìn)工藝集成度和電路復(fù)雜度日益攀升，芯片引腳尺寸不斷減小，制造工序逐漸復(fù)雜。更具競爭力的光學(xué)量測設(shè)備才能更好地迎合檢測市場需求。

未來，SOPTOP也將不斷致力于提高檢測效率和精度，優(yōu)化圖像質(zhì)量，為半導(dǎo)體檢測賦能。

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